标的名称：超精密车床

标的数量：1

主要功能或目标：拟采购超精密车削中心一台，用于淬火材料、钛合金、高温合金、铝合金等材料超精密车削。

需满足的要求：1.加工范围≥φ300x300mm，回转直径：≥φ380mm; 2.主轴转速：≥4000rpm 3.X轴行程：≥240mm 4.Z轴行程：≥350mm 5.X/Z定位精度优于：1μm/1μm X/Z重复定位精度优于：±0.1μm/±0.1μm 6.主轴跳动≤0.1μm 7.刀位≥8工位 8.X轴快进速度（米/分钟）：≥12m/min 9.Z轴快进速度（米/分钟）：≥12m/min

标的名称：300mm立式干涉检测工作站

标的数量：1

主要功能或目标：主要用于大口径高精度（面形RMS优于1nm）光学元件检测，包括表面面形，透射波前，材料光学均匀性，超高精度曲率半径等参数的测试，广泛应用于空间光学，强激光，同步辐射，光刻物镜制造等。

需满足的要求：1.工作形式：光束垂直向下； 2.主机测试口径≥300mm； 3.光学分立变倍:3X； 4.主机激光光源波长：633nm； 5.测试原理和技术：菲索型共光路，波长调制移相干涉原理，具有抗震相移模式； 6.RMS波前重复性（mean＋2σ）：平面检测腔＜0.32nm、球面检测腔＜0.75nm； 7.球面曲率半径测量不确定度≤0.1μm； 8.包含温控系统，保证测试环境稳定。

标的名称：4英寸激光干涉仪

标的数量：2

主要功能或目标：4英寸激光干涉仪主要用于快速可靠地测量光学元件、系统和组件（如窗口、反射镜、透镜、棱镜）的表面形状误差和透射波前。

需满足的要求：1.主机测试口径≥4英寸； 2.主机激光光源波长：633nm； 3.测试原理和技术：菲索型共光路，机械移相干涉原理，具有抗震相移模式； 4.RMS简单测量重复性＜0.06nm； 5.RMS波前重复性＜ 0.35nm（mean＋2σ）； 6.机校准系统，十字线双光点快速定位，主机调整可视范围≥±3°； 7.具有自主研发的测试分析软件，软件具备存储数据功能。

标的名称：波长调制激光干涉仪

标的数量：2

主要功能或目标：4英寸/6英寸波长调制激光干涉仪各一套，可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量，可以同时测量多个表面形貌，保持相对表面信息，并快速提供多个表面的面形检测结果，还可以进行精确的面与面之间的测量，如总厚度变化、楔角甚至是玻璃材料的不均匀性。

需满足的要求：4英寸/6英寸波长调制激光干涉仪各一套，主要技术指标如下： 1.主机测试口径≥4英寸，≥6英寸； 2.主机激光光源波长：633nm； 3.测试原理和技术：菲索型共光路，波长调制移相干涉原理，具有抗震相移模式； 4.光学分立变倍：1×、1.7×、3×； 5.RMS波前重复性＜ 0.35nm、λ/1800（mean+2σ）； 6.机校准系统，十字线双光点快速定位。